FMS Cleanroom Monitoring System Software – Sistem Monitoring Cleanroom Online Real-Time
FMS Cleanroom Monitoring System Software adalah sistem monitoring lingkungan cleanroom secara online dan real-time yang dirancang untuk membantu memantau kondisi ruang bersih secara berkelanjutan. Sistem ini menggunakan berbagai sensor dan probe yang dipasang pada beberapa titik untuk mengukur parameter lingkungan dan mengirimkan data pengukuran ke komputer.
Berbeda dengan pemantauan manual yang hanya menghasilkan data pada waktu tertentu, FMS Cleanroom Monitoring System memungkinkan pemantauan kondisi cleanroom secara terus-menerus. Sistem dapat digunakan untuk memantau partikel debu, suhu, kelembapan, tekanan diferensial, kecepatan angin, serta jumlah mikroorganisme di udara, sehingga perubahan kondisi lingkungan dapat lebih cepat diketahui.
FMS Clean Environment Online Monitoring System cocok digunakan untuk berbagai lingkungan yang membutuhkan kontrol kebersihan dan stabilitas kondisi ruang, termasuk industri biomedis, elektronik, instrumen presisi, manufaktur otomotif, energi baru, dan industri kimia.
Fitur Utama FMS Cleanroom Monitoring System
- Monitoring Real-Time: Data dari sensor dapat dipantau secara langsung untuk mengetahui perubahan kondisi cleanroom.
- Pemantauan Multi-Parameter: Mendukung pengukuran partikel, suhu, kelembapan, tekanan diferensial, kecepatan angin, dan parameter mikrobiologi.
- Remote Particle Monitoring: Sensor partikel dapat ditempatkan pada berbagai titik untuk memperoleh data lingkungan secara menyeluruh.
- Komunikasi Data Fleksibel: Mendukung Modbus-TCP, Modbus-RTU, serta output analog seperti 0–5 V, 0–10 V, dan 4–20 mA sesuai jenis sensor.
- Pemantauan Berkelanjutan: Membantu mengurangi keterbatasan pemantauan manual dengan menyediakan data secara terus-menerus.
- Beragam Pilihan Sensor: Dapat dikonfigurasi menggunakan sensor partikel, differential pressure, temperatur dan kelembapan, mikrobiologi udara, serta kecepatan angin.
- Cocok untuk Cleanroom Berbagai Kelas: Sensor partikel mendukung rentang monitoring Class 100 hingga Class 300.000.
Aplikasi FMS Cleanroom Monitoring System
FMS Cleanroom Monitoring System dapat diterapkan pada berbagai industri yang membutuhkan pengawasan kondisi lingkungan secara konsisten, antara lain:
- Industri Biomedis: Monitoring kondisi cleanroom untuk mendukung proses produksi dan pengujian.
- Industri Elektronik: Pengawasan konsentrasi partikel dan kondisi lingkungan pada area produksi sensitif.
- Instrumen Presisi: Membantu menjaga stabilitas lingkungan selama proses manufaktur.
- Manufaktur Otomotif: Monitoring kondisi area produksi yang memerlukan kontrol lingkungan.
- Industri Energi Baru: Pengawasan parameter cleanroom pada proses produksi dan pengujian.
- Industri Kimia: Monitoring temperatur, kelembapan, tekanan, partikel, dan parameter lingkungan lainnya.
Komponen Sensor FMS Cleanroom Monitoring System
R210/R310 Dust Particle Sensor
R210/R310 Dust Particle Sensor digunakan untuk memantau konsentrasi partikel udara secara real-time pada lingkungan cleanroom. Sensor ini memiliki sensitivitas hingga 0,3 μm dan tersedia dengan dua channel pengukuran.
| Parameter | Spesifikasi |
|---|---|
| Sensitivitas | 0,3 μm |
| Channel | 0,5 μm & 5,0 μm |
| Opsi Channel | 0,3 μm & 0,5 μm |
| Tampilan Data | LCD real-time / tanpa display |
| Komunikasi | Modbus-TCP, Modbus-RTU, 0–5 V, 4–20 mA |
| Sampling Flow | 2,83 L/min atau 28,3 L/min |
| Counting Efficiency | 50% @ 0,3 μm (sesuai JIS) |
| Flow Rate Error | ±5% |
| Konsentrasi Sampling Maks. | 35.000 pcs/L |
| Sumber Cahaya | Laser diode |
| Sumber Vakum | Air pump internal / eksternal |
| Material | Aluminium alloy + stainless steel protective case |
| Power Supply | 220 V ±10%, 50 Hz ±2 Hz |
| Monitoring Range | Class 100–Class 300.000 |
| Dimensi | 120 × 65 × 132 mm |
| Lingkungan Kerja | 0–50°C, <85%RH |
DP-30R Differential Pressure Sensor
DP-30R Differential Pressure Sensor digunakan untuk memantau perbedaan tekanan udara antar area cleanroom. Sensor tersedia dalam berbagai pilihan rentang pengukuran untuk menyesuaikan kebutuhan sistem HVAC dan ruang bersih.
| Parameter | Spesifikasi |
|---|---|
| Tampilan Data | Real-time display / tanpa display |
| Komunikasi | Modbus-TCP, Modbus-RTU, 0–10 V, 4–20 mA |
| Rentang Pengukuran | 0–±125 Pa hingga 0–5000 Pa |
| Dimensi | 135 × 37 × 91 mm |
| Berat | 0,23 kg |
TH-30R Temperature and Humidity Sensor
TH-30R Temperature and Humidity Sensor dirancang untuk memantau temperatur dan kelembapan secara real-time. Sensor ini membantu menjaga kondisi lingkungan cleanroom tetap berada pada parameter yang ditentukan.
| Parameter | Spesifikasi |
|---|---|
| Rentang Suhu | -20–80°C |
| Rentang Kelembapan | 0–100%RH |
| Akurasi Suhu | ±0,3°C |
| Akurasi Kelembapan | ±3%RH |
| Tampilan Data | LCD real-time / tanpa display |
| Komunikasi | Modbus-TCP, Modbus-RTU, 0–10 V, 4–20 mA |
| Dimensi | 135 × 37 × 91 mm |
| Berat | 0,23 kg |
FSC-R10 Microbio Air Sampler
FSC-R10 Microbio Air Sampler digunakan untuk pengambilan sampel mikrobiologi udara pada lingkungan cleanroom. Perangkat ini tersedia dengan beberapa pilihan laju sampling dan menggunakan sampling head berbahan stainless steel 316L.
| Parameter | Spesifikasi |
|---|---|
| Sampling Flow | 28,3 L/min, 50 L/min, 100 L/min |
| Collection Efficiency | ≥98% |
| Sampling Head | Ø100 × 50 mm |
| Material Sampling Head | Stainless Steel 316L |
| Berat Sampling Head | 1,6 kg |
| Kontrol | Field start/stop control switch |
| Lingkungan Kerja | 0–50°C, <85%RH |
WS-30R Wind Speed Sensor
WS-30R Wind Speed Sensor digunakan untuk mengukur kecepatan aliran udara dalam lingkungan cleanroom. Sensor mendukung berbagai pilihan rentang pengukuran dan komunikasi yang fleksibel.
| Parameter | Spesifikasi |
|---|---|
| Rentang Pengukuran | 0–1, 0–2, 0–10, 0–20, 0–30, 0–40 m/s |
| Akurasi | ±0,1 m/s |
| Response Time | <3 detik |
| Komunikasi | Modbus-TCP, Modbus-RTU, 0–10 V, 4–20 mA |
| Power Supply | DC 9–24 V |
| Lingkungan Kerja | 0–50°C, <85%RH |
| Berat | 0,23 kg |
| Dimensi | 135 × 37 × 91 mm |
| Probe Rod | PVC plastic |






